Weiterentwicklung eines Verfahrens zur Bestimmung der optischen Konstanten von Fotolacken mittels Swingkurven in der Fotolithografie

Diplomarbeit aus dem Jahr 2005 im Fachbereich Physik - Optik, Note: 1,0, Technische Hochschule Wildau, ehem. Technische Fachhochschule Wildau (Ingenieurwesen - Physikalische Technik), Sprache: Deutsch, Abstract: Die genaue Kenntnis der Brechzahlnund des Absorptionskoeffizientenkaller in der Fotolithografie verwendeten Materialien ist von großem Interesse bei der Optimierung von Prozessen und Ferti...