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Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten

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Harald SanderHarald Sander
Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik
Physik, Astronomie
Theoretische Physik
Inhaltsangabe:Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess entwickelt, der es erlaubt, die Versetzungsdichten in Si/SiGe Heterostrukturen zu bestimmen. Dabei wurde im Besonderen Wert auf eine Einführung in die Untersuchungsmethoden der Oberflächenmorphologie von Nanostrukturen, mittels Atomkraft-, Rastertunnel-, und ...
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38,00 €
Inhaltsangabe:Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess entwickelt, der es erlaubt, die Versetzungsdichten in Si/SiGe Heterostrukturen zu bestimmen. Dabei wurde im Besonderen Wert auf eine Einführung in die Untersuchungsmethoden der Oberflächenmorphologie von Nanostrukturen, mittels Atomkraft-, Rastertunnel-, und ...
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  • ISBN: 9783832451127
  • Number of pages: 90
  • DRM: NONE
  • Publication Date: Mar 7, 2002
  • Publisher: DIPLOM.DE
  • Format: pdf

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