Elektrochemische Messungen an durch PVD-Verfahren erzeugten Oxidschichten

Inhaltsangabe:Problemstellung: An der Darstellung dünner Schichten bestehend aus (dotiertem) Zinn(IV)-Oxid besteht bereits seit drei Jahrzehnten ein großes Interesse, weil transparente, n-halbleitende Oberflächen hergestellt werden können (TCO - transparent conductive oxides). Reines, stöchiometrisches Zinndioxid (SnO2) ist ein Isolator. Ziel der Herstellungsverfahren ist es also, einerseits Sch...